탄탈
Tanb3/ Tanb20/ Ta2.5w 판 가격 kg당 스퍼터링 타겟용 탄탈륨 보드
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- 탄탈륨 타겟, 탄탈륨 튜브, 시트, 막대는 청회색 전이 금속이며 녹는점이 높은 금속입니다. 탄탈륨은 연성이 있고 단단하며 부식에 강하며 왕수와 반응하지 않습니다. 화학 장비, 진공관, 의료 기기 및 임플란트 제조에 사용됩니다.
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- 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 반도체 및 전자 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 당사의 스퍼터링 타겟은 정밀하고 전문적인 기술을 바탕으로 제작되어 박막 증착 공정에서 탁월한 성능과 신뢰성을 보장합니다.
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- 탄탈륨은 내식성이 뛰어나고 열 및 전기 전도성이 뛰어난 금속으로, 스퍼터링 타겟에 이상적인 소재입니다. 당사의 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 다양한 스퍼터링 시스템 및 증착 요구 사항에 맞춰 다양한 모양과 크기로 제공됩니다. 평면형, 회전형 또는 맞춤형 타겟 등 어떤 형태의 타겟이 필요하시든, 고객의 특정 용도에 맞는 완벽한 솔루션을 제공해 드립니다.
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- 당사의 스퍼터링 타겟은 첨단 제조 기술을 사용하여 생산되어 고순도와 고밀도의 균일하고 일관된 필름 증착을 보장합니다. 탄탈륨의 탁월한 소재 특성과 당사의 정밀 제조 공정이 결합되어 탁월한 스퍼터링 성능, 균일한 필름 두께, 그리고 타겟 부식 최소화를 제공하여 궁극적으로 생산성과 비용 효율성을 향상시킵니다.
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- 저희는 박막 증착 공정에서 스퍼터링 타겟이 차지하는 중요한 역할을 잘 알고 있으며, 최고 수준의 품질과 성능을 갖춘 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 저희 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 엄격한 품질 관리 절차를 거쳐 신뢰성과 일관성을 보장하며, 고객 여러분께 중요한 응용 분야에 필요한 확신을 드립니다.
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- 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 고객의 특정 요구 사항에 맞춰 맞춤 제작 옵션도 제공합니다. 특별한 모양, 크기 또는 순도가 필요하시다면, 저희 전문가 팀이 귀사와 협력하여 정확한 사양을 충족하는 맞춤형 솔루션을 개발해 드립니다.
탄탈륨 스퍼터링 타겟은 기판에 박막을 증착하는 기술인 스퍼터 증착 공정에 사용되는 재료입니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 고순도 탄탈륨으로 제작되며 반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지와 같은 전자 소자 생산에 사용됩니다.
스퍼터링 공정에서 고에너지 플라즈마가 탄탈륨 스퍼터링 타겟에 충돌하여 탄탈륨 원자가 타겟 표면에서 방출됩니다. 방출된 원자는 기판에 증착되어 박막을 형성합니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 높은 융점, 내식성, 그리고 우수한 전도성을 갖추고 있어 스퍼터링 공정에 이상적입니다.
탄탈륨 스퍼터링 타겟은 다양한 스퍼터링 시스템 및 증착 요구 사항에 맞춰 다양한 모양과 크기로 제공됩니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 첨단 전자 소자 생산에 필수적인 부품으로, 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.
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탄탈륨 스퍼터링 타겟은 다양한 스퍼터링 시스템 및 증착 요구 사항에 맞춰 다양한 모양과 크기로 제공됩니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 첨단 전자 소자 생산에 필수적인 부품으로, 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.
당사의 탄탈륨 스퍼터링 타겟을 사용하면 뛰어난 성능, 안정성 및 일관성을 기대할 수 있으므로 박막 증착 목표에 이상적인 선택이 될 것입니다.
탄탈륨 타겟, 탄탈륨 서퍼팅 타겟
| 기준 | ASTM B 708-2001 |
| 차원 | Φ(25-400)mm*(3-28)mm |
| 재료 | RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W) |
| 원형 타겟 크기 | 직경 25mm ~ 400mm x 두께 3mm ~ 28mm |
| 직사각형 타겟 크기 | 두께 1mm ~ 12.7mm x 너비 최대 600mm x 길이 최대 2000mm |
| 청정 | ≥99.95% 또는 99.99% |
기술 매개변수
| 등급 | 3N, 3N5, 4N, Ta 99.99% 함유 |
| 재결정 | 95% 최소 |
| 입자 크기 | ASTM 4 또는 그 이상 |
| 표면 마감 | 최대 16Rms 또는 Ra 0.4(RMS64 이상) |
| 평탄 | 0.1mm 또는 최대 0.15% |
| 용인 | 모든 치수에서 +/-0.010인치 |
화학 성분
| 화학 ppm | ||||||||||||
| 지정 | 주요 구성 요소 | 불순물 최대 | ||||||||||
| 깃 달기 | 아니요 | 철 | 그리고 | ~ 안에 | 안에 | 을 위한 | 의 | 그만큼 | 기음 | 시간 | N | |
| 타1 | 나머지 | 300 | 40 | 30 | 20 | 40 | 40 | 20 | 150 | 40 | 15 | 20 |
| 타2 | 나머지 | 800 | 100 | 100 | 50 | 200 | 200 | 50 | 200 | 100 | 15 | 100 |
| 타엔비3 | 나머지 | 35000개 미만 | 100 | 100 | 50 | 200 | 200 | 50 | 200 | 100 | 15 | 100 |
| 타엔비20 | 나머지 | 170000- 23만 | 100 | 100 | 50 | 200 | 200 | 50 | 200 | 100 | 15 | 100 |
| 타2.5W | 나머지 | 400 | 50 | 30 | 20 | 30000 | 60 | 20 | 150 | 50 | 15 | 60 |
| 타10W | 나머지 | 400 | 50 | 30 | 20 | 110000 | 60 | 20 | 150 | 50 | 15 | 60 |
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