Megoldások

A cirkónium céltárgy kulcsfontosságú anyag, amelyet olyan vékonyréteg-előkészítési eljárásokban használnak, mint például a fizikai elpárologtatásos leválasztás és a magnetronos porlasztás. Gyakran használják optikai bevonatokban, vezető fóliákban, korróziógátló bevonatokban és más területeken. A cirkónium céltárgyak kiváló kémiai és hőstabilitással rendelkeznek, ezért széles körben használják vékonyréteg anyagok előállítására. A cirkónium céltárgyak alkalmazási igényeire válaszul a következő megoldásokat javasoljuk: