Lahendused

Tsirkooniumi sihtmärk on võtmematerjal, mida kasutatakse õhukese kile valmistamise protsessides, nagu füüsiline aurustamine-sadestamine ja magnetroni pihustamine. Seda kasutatakse sageli optilistes katetes, juhtivates kiledes, korrosioonivastastes katetes ja muudes valdkondades. Tsirkooniumi sihtmärkidel on suurepärane keemiline stabiilsus ja termiline stabiilsus, seetõttu kasutatakse neid laialdaselt õhukese kilematerjalide valmistamisel. Vastuseks tsirkooniumi sihtmärkide rakendusvajadustele pakume välja järgmised lahendused: