탄탈

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Tanb3/ Tanb20/ Ta2.5w 판 가격 kg당 스퍼터링 타겟용 탄탈륨 보드

Bango Alloy는 고품질 탄탈륨 타겟을 제공합니다. 당사는 탄탈륨 타겟 제조에 풍부한 경험을 가지고 있습니다. 당사의 탄탈륨 타겟은 널리 사용되고 있습니다.

기준 ASTM D 708-2001 표준
차원 Φ(25-400)mm*(3-28)mm
재료 RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)

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제품 세부 정보

탄탈럼 스퍼터링 타겟은 기판에 재료의 얇은 필름을 증착하는 데 사용되는 기술인 스퍼터 증착 공정에 사용되는 재료입니다. 탄탈럼 스퍼터링 타겟은 고순도 탄탈럼으로 만들어지며 반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지와 같은 전자 장치 생산에 사용됩니다.
스퍼터링 공정 동안 고에너지 플라즈마가 탄탈륨 스퍼터링 타겟을 폭격하여 탄탈륨 원자가 타겟 표면에서 방출됩니다. 방출된 원자는 기판에 증착되어 얇은 필름을 형성합니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟은 높은 융점, 내식성 및 우수한 전도성으로 선택되어 스퍼터링 공정에 사용하기에 이상적입니다.
탄탈럼 스퍼터링 타겟은 다양한 모양과 크기로 제공되어 다양한 스퍼터링 시스템 및 증착 요구 사항을 수용합니다. 이들은 첨단 전자 장치 생산에 중요한 구성 요소이며 광범위한 산업에서 사용됩니다.

- 탄탈륨 타겟, 탄탈륨 튜브, 시트, 막대는 청회색 전이 금속이며 고융점 금속입니다. 탄탈륨은 연성, 단단함, 내식성이 있으며 왕수와 반응하지 않습니다. 화학 장비, 진공관, 의료 기기 및 임플란트 제조에 사용됩니다.
01
- 탄탈럼 스퍼터링 타겟은 반도체 및 전자 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 당사의 스퍼터링 타겟은 박막 증착 공정에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 보장하기 위해 정밀성과 전문성을 바탕으로 제조됩니다.
02
- 탄탈럼은 내식성이 매우 뛰어난 금속으로, 열 및 전기 전도성이 뛰어나 스퍼터링 타겟에 이상적인 소재입니다. 당사의 탄탈럼 스퍼터링 타겟은 다양한 모양과 크기로 제공되어 다양한 스퍼터링 시스템 및 증착 요구 사항을 충족합니다. 평면, 회전 또는 맞춤형 타겟이 필요하든, 당사는 귀하의 특정 애플리케이션에 완벽한 솔루션을 제공할 수 있습니다.
03
- 당사의 스퍼터링 타겟은 첨단 제조 기술을 사용하여 생산되며, 균일하고 일관된 필름 증착을 보장하기 위해 고순도와 밀도를 제공합니다. 탄탈륨의 뛰어난 재료 특성과 당사의 정밀한 제조 공정을 결합하여 타겟은 우수한 스퍼터링 성능, 균일한 필름 두께, 최소한의 타겟 침식을 제공하여 궁극적으로 생산성과 비용 효율성을 개선합니다.
04
- 우리는 스퍼터링 타겟이 박막 증착 공정에서 하는 중요한 역할을 이해하고 있으며, 최고의 품질과 성능 표준을 충족하는 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 탄탈럼 스퍼터링 타겟은 엄격한 품질 관리 조치를 거쳐 신뢰성과 일관성을 보장하며, 고객에게 중요한 애플리케이션에 필요한 확신을 제공합니다.
05
- 당사의 탄탈럼 스퍼터링 타겟은 또한 특정 고객 요구 사항을 충족하기 위한 맞춤형 옵션을 제공합니다. 고유한 모양, 크기 또는 순도 수준이 필요하든, 당사의 전문가 팀은 귀사와 협력하여 귀사의 정확한 사양을 충족하는 맞춤형 솔루션을 개발할 수 있습니다.
06

당사의 탄탈륨 스퍼터링 타겟을 사용하면 뛰어난 성능, 안정성 및 일관성을 기대할 수 있으므로 박막 증착 목표에 이상적인 선택이 될 것입니다.

탄탈륨 타겟, 탄탈륨 서프터링 타겟

기준	ASTM D 708-2001 표준
차원	Φ(25-400)mm*(3-28)mm
재료	RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
원형 타겟 크기	직경 25mm ~ 400mm x 두께 3mm ~ 28mm
직사각형 대상 크기	두께 1mm ~ 12.7mm x 너비 최대 600mm x 길이 최대 2000mm
청정	≥99.95% 또는 99.99%

기술 매개변수

등급	3N, 3N5, 4N, Ta 99.99%
재결정	95% 최소
입자 크기	ASTM 4 또는 그 이상
표면 마감	최대 16Rms 또는 Ra 0.4(RMS64 이상)
평탄	0.1mm 또는 최대 0.15%
용인	모든 치수에서 +/-0.010"

화학성분

화학 ppm
지정	주요 구성 요소		불순물 최대
	깃 달기	아니요	철	그리고	~ 안에	안에	모	의	그만큼	기음	시간	N
Ta1	나머지	300	40	30	20	40	40	20	150	40	15	20
Ta2	나머지	800	100	100	50	200	200	50	200	100	15	100
TaNb3	나머지	＜35000	100	100	50	200	200	50	200	100	15	100
타Nb20	나머지	170000- 230000	100	100	50	200	200	50	200	100	15	100
Ta2.5W	나머지	400	50	30	20	30000	60	20	150	50	15	60
타10W	나머지	400	50	30	20	110000	60	20	150	50	15	60