Cible de pulvérisation de métal hafnium de haute pureté, cible hafnium pour l'électronique
Le revêtement en couche mince d'hafnium peut également être utilisé pour assurer la dureté et la protection de la surface. AEM produit des cibles de pulvérisation en hafnium avec des barres de cristal raffinées de la plus haute qualité garantissant une pureté élevée, une faible teneur en zirconium et une grande fiabilité.
Propriétés des cibles de pulvérisation d'hafnium
Formule chimique | Hf |
Masse atomique | 178,49 |
Couleur/Apparence | Acier gris, métallisé |
Point de fusion | 2227℃ |
Conductivité thermique | 23 W/mK |
Coefficient de dilatation thermique | 5,9 x 10-6/K |
Densité théorique (g/cc) | 13.31 |
Ration Z | 0,36 |
Crachat | DC |
Densité de poudre maximale (watts/pouce carré) | 50 |
Type d'obligation | Indium, élastomère |
Spécifications de la cible de pulvérisation d'hafnium
Description | Cibles de pulvérisation d'hafnium | |
Pureté typique | Hf+Zr>99,99%, | Zr |
Taille | Circulaire : diamètre 1 mm ; | Bloc : Longueur 1 mm |
Forme | Disque, plaque | Colonne, marchepied, sur mesure |
Applications des cibles de pulvérisation d'hafnium
1. Utilisé dans les processus de dépôt, notamment le dépôt de semi-conducteurs, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD).
2. Utilisé pour l'optique, y compris la protection contre l'usure, les revêtements décoratifs et les écrans.
Nos cibles de pulvérisation en hafnium de haute qualité constituent la solution idéale pour le dépôt de couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs et d'électronique. Nos cibles de pulvérisation en hafnium sont conçues pour répondre aux exigences élevées des processus de pulvérisation modernes, garantissant des performances et une fiabilité exceptionnelles.
Nos cibles de pulvérisation en hafnium sont disponibles dans une variété de tailles et de configurations pour s'adapter à différents systèmes de pulvérisation, offrant flexibilité et compatibilité avec une variété d'équipements. Que vous utilisiez la pulvérisation magnétron, la pulvérisation par faisceau ionique ou d'autres techniques de pulvérisation, nos cibles en hafnium assurent un dépôt de film cohérent et uniforme, contribuant à la production de dispositifs électroniques et de composants semi-conducteurs hautes performances.
En plus des cibles de pulvérisation en hafnium standard, nous proposons des options de fabrication personnalisées pour répondre aux exigences spécifiques des clients, notamment des formes, des tailles et des compositions uniques. Notre équipe d'experts se consacre à fournir des solutions sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de dépôt de couches minces.
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